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    蝕刻洗鋁久久精品国产亚洲AV无码麻豆步驟1:久久精品国产亚洲AV无码麻豆標簽廠提供一鋁膜基板,所述鋁膜基板包括襯底基板及設於所述襯底基板上的鋁膜,在所述鋁膜上塗布光阻層,采用光罩對光阻層進行曝光顯影後形成光阻層圖形;

    蝕刻洗鋁久久精品国产亚洲AV无码麻豆步驟2:久久精品国产亚洲AV无码麻豆標簽廠提供一幹蝕刻設備,所述幹蝕刻設備具有蝕刻腔體,將帶有光阻層圖形的鋁膜基板放入所述蝕刻腔體中,向所述蝕刻腔體內通入含氯氣體,對鋁膜基板進行蝕刻,所述含氯氣體對鋁膜上未被光阻層圖形覆蓋的部分進行蝕刻,得到設計圖案,在蝕刻過程中,控製所述蝕刻腔體內的溫度與壓力,使含氯氣體與鋁膜反應生成的氯化鋁保持氣體狀態,減少氯化鋁顆粒的生成;

    蝕刻洗鋁久久精品国产亚洲AV无码麻豆步驟3:采用抽氣設備抽出所述蝕刻腔體內的大部分氣體,通入含氟氣體,通電解離後,含氟氣體的等離子體與蝕刻腔體內殘留的氯化鋁發生反應,含氟氣體中的氟元素與氯化鋁中的氯元素進行置換,生成氟化鋁。


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